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高純液氮純化方法：
氮氣純化方法主要有吸附法、變壓吸附法、膜分離法等。在生產(chǎn)中，通常采用黑色鋼瓶盛放氮氣。
高純液氮的用途：
在集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣，化學(xué)氣相淀積時的載氣，液體擴散源的攜帶氣，在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。在航天技術(shù)中，液氫加注系統(tǒng)先用高純氮置換，再用高純氦置換。
| 淄博通曜氣體銷售有限公司 | |||
| 分析報告單 | |||
| 檢驗依據(jù)：GB/T8979-2008 編碼：0001902 | |||
| 樣品名稱：液氮 | 取樣地點：液氮槽車 | ||
| 分析項目 | 指標(biāo) | 分析結(jié)果 | |
| 氮氣（N2）純度（體積分數(shù)）/10-2 ≥ | 99.999 | ||
| 氧（O2）含量（體積分數(shù)）/10-6 ≤ | 3 | ||
| 氫（H2)含量（體積分數(shù)）/10-6 ≤ | 1 | ||
| 一氧化碳（CO）含量（體積分數(shù)）/10-6 ≤ | 1 | ||
| 二氧化碳（CO2）含量（體積分數(shù)）/10-6 ≤ | 1 | ||
| 甲烷（CH4）含量（體積分數(shù)）/10-6 ≤ | 1 | ||
| 水（H2O）含量（體積分數(shù)）/10-6 ≤ | 3 | ||
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